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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-227
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 走査型プローブ顕微鏡
(Scanning probe microscopy)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 吉村雅満 教授
仕様

オミクロン VT-AFM(超高真空)
・金属、半導体表面などの原子分子STM, AFM観察
・真空蒸着、スパッタ、ガス導入可能
・温度可変測定(30K~900K)

F-TT-227

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