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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-226
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 シート抵抗測定器
(Sheet resistance meter)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

エヌピイエス社 Σ-5+
・不純物拡散層および金属薄膜抵抗測定 
・260mm幅のステージに載れば測定可能 
・1.000mΩ/□~5000.0KΩ/□を約1sで測定

F-TT-226

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