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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-225
分類 走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
リソグラフィ・露光・描画装置 > 電子線描画(EB)
設備名 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属)
(Field Emission-Scanning Electron Microscope (6500F))
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 粟野博之 教授
仕様

日本電子FESEM JSM6500Fに東京テクノロジーのBEAM DRAWを付加した電子線描画装置。
・最小描画線幅50nm

F-TT-225

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