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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-218
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
設備名 走査型プローブ顕微鏡
(Scanning probe microscopy)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

SII-NT製SPA400
・AFM, DFM, pA測定可能
・小片~10mm角程度の基板

F-TT-218

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