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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-217
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
その他材料評価 > 太陽電池評価システム
設備名 ライフタイム測定装置
(Lifetime measurement system)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

SEMILAB-SDI社 PV-2000A
・QSS-u-pCD(Injection level毎のライフタイム測定)
・Ultimate-SPV (ウェハー厚4倍までの拡散長測定)
・ALID(高速光劣化測定)
・非接触CV測定
など

 

F-TT-217 F-TT-217

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