文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-216
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
分光 > 薄膜用紫外〜赤外反射
設備名 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
(White light interferometer)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 佐々木実 教授
仕様

Zygo社 NewView 7300 システム(含:フィルム、動的オプション)
白色干渉計
・材料は不問
・サイズはステージに載れば利用可能

F-TT-216

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