文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-215
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
分光 > 薄膜用紫外〜赤外反射
設備名 表面形状測定器(段差計)
(Surface Profiler)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

KLA-Tencor社 アルファーステップ IQZ(クリーンルーム内)
・触針段差計、材料は不問
・φ4インチ程度

F-TT-215

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