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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-214
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
その他材料評価 > 膜厚測定装置(エリプソメーター)
設備名 エリプソメーター
(Ellipsometer)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

ガ-トナ-LSE
・シリコン酸化膜あるいはSiN膜等の単層あるいは2層膜の膜厚測定
・φ6インチ以下基板

F-TT-214

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