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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-212
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子線後方散乱回折(EBSD)付属)
(Field emission SEM / Electron backscatter diffraction)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 小島信晃 助教
仕様

日本電子, JSM-7000FOAショットキー電界放出電子銃
・EBSD付属
・分析時分解能 3.0nm、加速電圧0.5~30kV
・試料:最大32mmφ

F-TT-212

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