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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-207
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 イオン打ち込み装置
(Ion implanter)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

VARIAN 200CF4
・max180kV, 中電流インプラ装置
・ガスソースP, B, N
・Φ3インチまでのSi基板へのイオン打込みが可能

F-TT-207

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