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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-204
分類 膜加工・エッチング > ウエット/ガスエッチング,洗浄
設備名 洗浄ドラフト一式
(Clean draft chamber)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

シリコン専用および化合物半導体専用のドラフト群
・小型~太陽電池156mm角基板等

F-TT-204

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