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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-203
分類 膜加工・エッチング > アッシング・キュア
設備名 レジスト処理(アッシング)装置
(Plasma asher)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 佐々木実 教授
仕様

特注(VICインターナショナル、VPA-100改造)
・材料制限は少ない(要相談)
・φ4インチまで
・UVキュア処理装置(自作)と合わせて使う

F-TT-203

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