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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-201
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 電子線描画(EB)
設備名 電子ビーム描画装置
(Electron-beam drawer)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

クレステックCABL-8200TFE
・Si、ガラス等各種基板

F-TT-201

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