文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-200
分類 合成、熱処理、ドーピング > CNT・グラフェン成長
ものづくり・合成支援 > ナノ材料・カーボン材料作製支援
設備名 カーボン用プラズマ成膜装置
(Plasma deposition system for carbon)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 吉村雅満 教授
仕様

日本真空改造CN-CVD-100
・Ta製電極
・リモートプラズマ成膜可能
・カーボンナノチューブ、カーボンナノウォール、グラフェン合成

F-TT-200

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