文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-198
分類 成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
ものづくり・合成支援 > 薄膜作製支援
設備名 電子ビーム(金属)蒸着装置
(Electron-beam (metal) evaporation system)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

日本真空EBS-10A
・Al,Al-Si,Ti,Ni,Feなど(但しAuは不可)

F-TT-198

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