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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-197
分類 成膜・膜堆積 > スパッタリング
ものづくり・合成支援 > 薄膜作製支援
設備名 スパッタ(金属、絶縁体)蒸着装置
(Sputtering (metal/insulator) deposition system)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 梶原建 支援員
仕様

芝浦エレテックCFS-4ES
・平行平板型
・ターゲット現有(Ti,Al,Ag,Pd,SiO2,Al2O3,SiN,Au)

F-TT-197

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