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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-373
分類 その他 > その他
設備名 PDMS加工装置
(PDMS processing equipment)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

ポリジメチルシロキサン(PDMS)加工用の塗布装置、真空撹拌脱泡装置、オーブン等の装置群

F-RO-373

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