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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-368
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 分光エリプソメーター
(Spectroscopic ellipsometer)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

J.A. Woollam, Japan社製
測定可能最小膜厚10nm,分光波長範囲193〜1000nm

F-RO-368

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