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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-367
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 干渉式膜厚計
(Spectroscopic reflectometer)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日本ナノメトリクス社製
可視光及び紫外光光源、多層膜対応解析ソフト搭載

F-RO-367

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