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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-366
分類 合成、熱処理、ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
設備名 ポストメタライゼーションアニール(PMA)炉
(Post-metallization annealing furnaces)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

神港精機社製
最高使用温度900℃

F-RO-366

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