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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-353
分類 X 線回折 > 粉末・薄膜 X 線回折(XRD)
設備名 薄膜構造評価X線回析装置
(X-ray diffraction spectrometer )
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

リガク社製
角度分解能0.0002(2θ)

F-RO-353

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