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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-352
分類 走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
設備名 原子間力顕微鏡(AFM)
(Atmoic force microscope)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

セイコーインスツルメンツ社製
SPI3800  分解能:Z:0.01nm,  X、Y:0.1nm, 視野最小5nm角、最大20mm角

F-RO-352

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