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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-351
分類 表面分析装置 > 二次イオン質量分析(SIMS)
設備名 二次イオン質量分析機(SIMS)
(Secondary ion mass spectrometer)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

アルバックファイ社製
Cs,Oガン装備四重極型質量分析機、一次イオン最小加速エネルギー1kV

F-RO-351

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