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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-345
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 走査電子顕微鏡(SEM)
(Field emission scanning electron microscope)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日立社製
冷陰極電界放出型電子銃、最高分解能1.5nm

F-RO-345

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