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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-344
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 イオン注入装置
(Ion implanter)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

アルバック社製
5keV-150keV, B, As, P, Si, F, Ar, In, Sb, N, He 等注入可能

F-RO-344

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