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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-342
分類 膜加工・エッチング > ドライエッチング(RIE)
設備名 エッチング装置(Si 深掘用)
(Si deep etching system)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

住友精密工業社製
ボッシュプロセスを用いた深掘エッチング装置

F-RO-342

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