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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-337
分類 成膜・膜堆積 > CVD(化学気相成長)、有機膜
設備名 常圧SiO2CVD装置
(Atmospheric pressure CVD reactor for SiO2 deposition)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

天谷製作所社製
基板温度400℃、PおよびBドープ可能

F-RO-337

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