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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-RO-332
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 ラザフォード後方散乱 (RBS)測定装置
(Rutherford Backscattering Spectrometer)
地域 中国
設置機関 広島大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日新ハイボルテージ社製
加速電圧:最大2.45MV
加速イオン:H, D2+,3He4He14N  他
ビーム電流:3μA-50μA

F-RO-332

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