文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-OS-318
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
特殊プローブ顕微鏡 > 走査型イオン顕微鏡
設備名 高精細集束イオンビーム装置
(high definition focused ion beam system )
地域 近畿
設置機関 大阪大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 ナノテクノロジー設備供用拠点 微細加工PF
法澤公寛
仕様

高精細集束イオンビーム装置

ZEISS社製 ORION NanoFab

Heイオンビーム 10~35kV

Neイオンビーム 10~30kV

GIS: XeF2, SiO2, Pt

【FIB加工】サブ10nmクラスの微細加工

【ヘリウムイオン顕微鏡】

 中和銃装備のため絶縁体を導電性処理無しに観察可能

(FIB装置、ヘリウムイオン、ネオンイオン)

high definition focused ion beam system

 

F-OS-318

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