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研究機関:大阪大学
名称:大阪大学 大阪大学産業科学研究所 微細加工プラットフォーム

本拠点では各種量子ビームを用いたナノファブリケーション技術の開発や次世代の露光技術であるEUVリソグラフィ実現の鍵となるレジスト開発と評価,有機/無機/酸化物等の各種素材からなる極微デバイス作製・評価や特異的なナノ構造体の作製の支援を行います.

該当する大分類件数:8件