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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-221
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 X線光電子分光装置
(X-ray Photoelectron Spectroscope)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

VG/ESCALab250
Mg/Alツインアノード
AlモノクロX線源
Arスパッタ銃
角度分解測定用マニュピレータ
最大試料サイズ:20mmφ

F-NU-221

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