文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-218
分類 形状・形態観察、分析 > 透過電子顕微鏡(TEM)
透過電子顕微鏡 > 電界放出型透過電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 透過型電子顕微鏡
(Transmission Electron Microscope)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

分解能 0.19 nm
立体角 0.28 sr
STEM(走査像観察装置),EDS(エネルギー分散形 X 線分析装置)可能

F-NU-218

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