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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-215
分類 特殊プローブ顕微鏡 > 走査型イオン顕微鏡
設備名 走査型イオン顕微鏡
(Scanning Ion Microscope)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

イオン源 液体金属Ga
加速電圧 30kV
分解能 5nm(加速電圧30k)
最大電流 20nA以上(加速電圧30kV)
最大電流密度 20A/cm2以上(加速電圧30kV)
最大試料サイズ 50mm角、厚さ12mm

F-NU-215

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