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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-214
分類 表面処理 > プラズマ
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 in-situプラズマ照射表面分析装置
(In-situ Plasma-irradiated Surface Analysis System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

プラズマ照射した表面を大気暴露すること無く、in-situでX線光電子分光法(XPS)、フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)、走査型トンネル顕微鏡(STM)によって分析することが可能。
プロセスガス:H2、N2、O2、Ar、He、SiH4、SF6、CF4

F-NU-214

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