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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-213
分類 表面処理 > プラズマ
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 表面解析プラズマビーム装置
(Plasma Beam Irradiation and Surface Analysis System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

プラズマビームを材料表面に照射し、in-situ XPSによって評価することによって、表面-プラズマ間の反応の解析が可能
また、イオンおよびラジカルの入射フラックス比を変化させた表面状態の解析も可能
使用ガス:HBr、Ar、CF4、C4F8、Cl2、H2、N2、O2

F-NU-213

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