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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-211
分類 成膜・膜堆積 > 原子層堆積(ALD)
設備名 プラズマ支援原子層堆積装置
(Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

プラズマを用いて原子層での膜堆積を行う。また、製膜中の膜質をその場・in-situ FTIRで評価することが可能
基板温度:20℃-600℃
使用ガス:SiH4、Ar、N2、H2、O2

F-NU-211

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