文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-204
分類 膜加工・エッチング > レーザー加工
電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 フェムト秒レーザー加工分析システム
(Femtosecond Laser Microprocessing and Analysis System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

輝創  UFL-Hybrid
光源:1041 nm, 550 fs, 10 µJ (IMRA µjewel D-1000)
高調波発生ユニット:40% @520 nm, 5% @347 nm

(加工ステーション)
最大試料寸法:100 mm x 100 mm
加工スポット:3.5 µmφ
(分析ステーション)
時間分解蛍光・磁気分析
(光干渉断層撮影ステーション)
撮影エリア:10 mm x 10 mm x 1.6 mm
深さ分解能:7 µm

F-NU-204

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