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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-196
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
光学顕微鏡 > 共焦点レーザー顕微鏡、全反射顕微鏡
設備名 デジタルマイクロスコープ一式
(Digital Microscope)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

KEYENCE製  VK-9700

  • 分解能:高さ方向  0.01 um
  • 水平方向  0.13 um
  • 最大観察倍率:3,000倍
  • 測定用光源:波長  408 nm
F-NU-196

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