文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-195
分類 膜加工・エッチング > ドライエッチング(その他)
試料作製装置 > イオンミリング
試料作製装置 > 試料作製装置群
設備名 SEM用断面試料作製装置
(Cross Section Polisher)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

JEOL製  SM-09010

  • 最大搭載試料サイズ:イオンビーム径:500 mm
  • 試料移動範囲:±3 mm ×±3 mm
F-NU-195

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