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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-189
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 小型微細形状測定機一式
(Surface Profiler)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

小坂研究所社製 ET200

  • 最大サンプルサイズ:φ160×厚さ48mm
  • 再現性 :1σ 1nm以内
  • 測定範囲 :Z:600μm  X:100mm
  • 分解能 :Z:0.1nm  X:0.1μm
  • 測定力:10μN〜500μN
F-NU-189

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