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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-186
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 光露光(マスクレス、直接描画)
成膜・膜堆積 > 光三次元造形
設備名 光三次元造形装置一式
(3-dimentional Printing System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

Object製  EDEN250

  • 造形精度:16 µm
  • 造形サイズ:260 mm×260 mm×200 mm  
F-NU-186

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