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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-182
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > レジスト塗布・現像装置
設備名 スプレーコーター一式
(Splay Coater)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

サンメイ製  DC110

  • 対応サイズ:最大 □220 mm 
  • 移動範囲:縦横300 mm
  • 移動速度:10~200 mm/秒
  • 粒子径:約5~15µm
  • クリーンブース  CLB内に設置
F-NU-182

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