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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-175
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
表面分析装置 > 電子スピン共鳴(ESR)
物性測定 > 電子スピン共鳴装置(ESR)
設備名 In-situ 電子スピン共鳴 (ESR)
(In-situ Electron Spin Resonance System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

Bruker社製 EMX Premium X
試料中に存在する不対電子のリアルタイム計測、温度可変不可(室温)、気体分析可能
サンプルサイズ: 5 mm 幅以下、石英管、ガス分析可

F-NU-175

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