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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-174
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
(Vacuum Ultra Violet Absorption Spectrometer)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

NUシステム社製
プラズマ診断用、真空チャンバー壁面に設置、H、O、N、Cラジカル密度計測可

F-NU-174

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