文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-173
分類 表面処理 > プラズマ
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 大気圧IAMS(イオン付着質量分析器)
(Atmospheric Pressure Ion Attachent Mass Spectroscopy System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

キャノンアネルバ社製
大気圧プラズマの質量分析が可能
検出質量数  1-410

F-NU-173

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)