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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-172
分類 表面処理 > プラズマ
合成、熱処理、ドーピング > CNT・グラフェン成長
設備名 超高密度液中プラズマ装置
(Ultra High Density In-liquid Plasma System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

NUシステム会社
有機溶媒を用いたナノグラフェン合成
液体分析、細胞改質が可能
電源9kV、60Hz
液体:アルコール類  500mL
プロセスガスAr  3L/min

F-NU-172

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