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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-171
分類 表面処理 > プラズマ
設備名 超高密度大気圧プラズマ装置
(Ultra High Density Atmospheric Pressure Plasma System)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

富士機械製造株式会社
大気圧プラズマ中のラジカルを用いた材料の表面処理(改質、洗浄)
使用ガス:Ar、N2、Ar+O2
電源:AC交流電源、9kV, 60 Hz

F-NU-171

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