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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-170
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 段差計
(Surface Profiler)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

アルバック社製  Dektak150
触針式
垂直分解能:10nm
測定距離:50μm~55mm

F-NU-170

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