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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-169
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 走査型電子顕微鏡
(Scanning Electron Microscopy)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日立ハイテクフィールディング社製S5200

  • 加速電圧:0.5kV~30kV
  • 分解能:0.5nm(30kV)
  • 倍率:~2,000,000
  • 最大試料サイズ:5mmX9.5mm
F-NU-169

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