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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-NU-166
分類 成膜・膜堆積 > スパッタリング
設備名 スパッタ絶縁膜作製装置
(Sputtering System for Insulating Layer)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

MESアフティ社製  AFTEX-3420

  • 対応基板サイズ:最大3インチ
  • 酸化膜、窒化膜用
F-NU-166

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